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12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地环评公示(第二次)

重庆万国半导体科技有限公司

12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地

环境影响评价公众参与第二次信息公示

    根据《环境影响评价公众参与暂行办法》有关规定,规范环境影响评价活动中的公众参与,现将重庆万国半导体科技有限公司12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地环境影响信息予以公布。

    一、建设项目情况简述

    重庆万国半导体科技有限公司拟新建12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地,项目建设地点位于重庆市两江新区水土高新技术产业园内C47-01/03地块。建设规模为:月产2万片12英寸功率半导体芯片和月产500kk功率半导体芯片封装测试。项目总投资为62455.81万元,其中环保投资约6875万元,占项目总投资的11.01%。项目总用地面积228449m2,新增劳动定员2560人,预计2019年12月可以全面达产。建设内容包括:芯片厂房、封测厂房、动力厂房、危险品库、化学品库、硅烷站以及相关配套生产设施、厂务动力设施、气体供应与输送系统、环保设施等。

    二、建设项目对环境可能造成的影响及环境保护措施

    1、环境空气影响及污染防治措施

    1) 施工期

    (1) 环境影响

    项目施工期对大气环境的影响主要来自施工扬尘和施工器械、运输工具等排放的废气。施工过程会产生施工扬尘,钻孔、散装水泥、装卸作业和材料运输等过程也将产生二次扬尘。运输废气主要包括各类燃油动力机械(汽车、铲运机、推土机、柴油机等)进行场地平整、运输作业时排放的含CO、碳氢化合物、NOx等废气。

    (2) 保护措施

    施工场地周围需设置硬质密闭围挡。制定定期洒水制度,对施工场地及施工道路定期洒水。施工场地内运输道路应及时清扫,减少汽车行驶扬尘。施工过程中使用的水泥及其他细颗粒散装原料,应密闭存放或采用防尘布遮盖,避免露天堆放。对于施工场地内的裸露地面,应覆盖防尘布或防尘网、植被绿化或其他有效的防尘措施。

    2) 营运期

    (1) 环境影响

    主要有芯片制造和封装测试工艺流程及其配套辅助设施产生的酸碱废气、有机废气、含砷废气以及燃烧废气。

    酸性废气主要有硫酸雾、氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物以及磷酸雾等;

    碱性废气主要为氨气;

    有机废气来自异丙醇、塑封料、光刻胶等有机物的使用,特征因子以VOCs表征。

    含砷废气主要为离子注入和外延工艺环节砷化氢的使用,特征因子以AsH3表征。

    燃烧废气主要为VOCs环保治理以及燃气锅炉产生,特征因子以SO2、NOx和烟粉尘表征。

    (2) 减缓措施

    酸性废气:化学气相沉积、外延、离子注入等产生的氢氟烃类、氯气等工艺尾气经工艺机台自带的本地处理装置处理后,与其他一般酸性气体(硫酸、磷酸、盐酸、氢氟酸等)汇入排气总管后进入酸性吸收塔处理,共设置11套酸性洗涤塔(8用3备),经30m高烟囱排放,满足相应排放标准。

    碱性废气:在CMP、去胶、清洗等环节使用到氨水,挥发出来的氨气进入碱性洗涤塔处理,共设置3套碱性洗涤塔(2用1备),经30m高烟囱排放,满足相应排放标准。

    有机废气:芯片厂房有机废气经沸石转轮吸附+RTO燃烧后,经30m烟囱排放,满足相关排放标准;封测厂房有机废气经活性炭吸附后,经30m烟囱排放,满足相关排放标准。

    含砷废气:主要来自离子注入和外延工序,分别经机台自带的处置系统处置后排入厂务端处置。其中离子注入工序采用氧化铜干式吸附,外延工序采用电凝法,厂务端采用氧化铜干式吸附,含砷废气经二级处理后,经由30m烟囱排放,满足相关排放标准。

    燃烧废气:锅炉采用清洁能源天然气,废气经30m烟囱排放,满足相应标准。

    2、地表水环境影响及污染防治措施

    1) 施工期

    (1) 环境影响

    施工期产生的废水主要包括生产废水和生活污水。

    生产废水主要包括混凝土浇筑、养护、冲洗施工过程中产生的碱性废水,施工机械产生的含油废水,车辆设备的冲洗废水,以及雨水冲刷泥土后的雨污水。

    生活污水的主要污染物为COD、SS、动植物油等。

    (2) 保护措施

    在施工场地内设置隔油沉淀池,废水经沉淀处理后回收利用。在土石方施工场地设置必要的雨水排水沟或管道,尽量避免雨水冲刷泥土后产生污水,防止水土流失。施工期生活污水经市政管网进入水土污水处理厂处理。

    2) 营运期

    1) 环境影响

    拟建项目营运期废水包括生产废水和生活污水。

    生产废水:拟建项目无含砷废水排放。主要为研磨废水、含氟废水、酸碱废水、氨氮废水、表面处理废水以及纯水制备、冷却系统等辅助生产系统排水,主要污染因子为pH、COD、SS、氟化物、氨氮、总氮、总磷等。

    生活污水:主要为办公以及餐厅废水,主要污染因子为COD、SS、氨氮、动植物油。

    2) 减缓措施

    生产废水:拟建项目建设生产废水综合处理站,拟建设研磨废水处理系统、含氟处理系统、酸碱处理系统、氨氮处理系统、表面废水处理系统等5套废水处理子系统,处理达标后一并排入最终中和处理系统,经检测达标后排入市政管网。

    研磨废水处理:废水经pH调节→絮凝→混凝→沉淀→排入最终中和处理系统。

    含氟废水处理:废水经pH调节+投加CaCl2→絮凝→混凝→沉淀→排入最终中和处理系统。

    一般酸碱废水处理:废水经pH调节→排入最终中和处理系统。

    氨氮废水处理:废水经pH调节→二级吹脱→含氟处理系统;吹脱氨气→硫酸吸收塔;未吸收氨气闭路循环再经吹脱塔吹脱不外排;生成的硫酸铵溶液交有资质单位安全处置。

    表面处理废水处理:封测厂房1表面处理废水经pH调节(沉淀)→絮凝→混凝→絮凝→沉淀→排入最终中和处理系统。

    最终中和处理:来自W1~W5子处理系统经处理合格的尾水以及纯水制备系统排水、常温冷却水系统排水、工艺设备冷却水系统排水、冷却塔排水以及FA实验室废水经pH调节→达标排放。

    生活污水:经生化池处理后排入市政管网,餐厅含油废水须经隔油池预处理后排放。

    拟建项目位于水土污水处理厂纳污范围,项目污废水经厂内处理达标后,最终均排入水土污水处理厂纳污管网,经水土污水处理厂进一步处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》GB 18918-2002一级A标准后排放。水土污水处理厂现状排放竹溪河,二期工程扩建完成后,排污口下迁至悦来取水口下游排放嘉陵江(预计2018年10月)。

    3、声环境影响及污染防治措施

    1) 施工期

    (1) 环境影响

    施工期噪声主要来自各施工阶段的施工设备,如挖掘机、振捣棒、钻机等在使用过程中发出的噪声,以及物料运输过程中产生的交通噪声等。距离各施工设备10m处的声级值约83dB(A)~90dB(A)。根据预测,施工期噪声可能会对周边居住区产生一定影响。

    (2) 减缓措施

    通过合理布局施工场地,施工区域周边设置围栏,尽量减少项目周边环境所受到的施工噪声影响。同时,在满足施工需要的前提下,选择低噪声先进设备,合理安排施工时间,并加强施工机械的维护保养,避免由于设备性能差使机械噪声增大的现象发生。严格执行建筑工程夜间施工临时许可制度。

    2) 营运期

    (1) 环境影响

    拟建项目主要噪声源有各类加工设备、冷却塔、空压机、水泵和风机等,其声源等效声级在75dB(A)~90dB(A)。

    (2) 减缓措施

    针对各类声源的发声特征,分别采取减振、消声、隔声等降噪措施,降低噪声对环境的影响。上述声源的噪声控制措施已较为成熟并运用广泛,项目实施后对周围声环境不会造成明显影响,经预测厂界噪声能够满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》GB 12348-2008 3类标准要求。

    4、地下水环境影响及污染防治措施

    1) 环境影响

    拟建项目地下水按赋存条件可分为第四系覆盖层松散介质孔隙水和基岩裂隙水两大类,含水性一般,富水性不高,项目周边不存在地下水饮用水源,项目区不属于生活供水水源地准保护区及补给径流区,也不属于特殊地下水资源保护区。地下水环境敏感程度为不敏感。拟建项目废水处理系统如不慎发生泄漏,将可能对区域地下水造成污染。

    2) 减缓措施

    拟建项目按照分区防渗的原则在厂区内设置了简单防渗区、一般防渗区和重点防渗区。重点防渗区防渗性能不低于6.0m厚渗透系数为1.0×10-7cm/s的黏土层防渗性能,一般防渗区防渗性能不低于1.5m厚渗透系数为1.0×10-7cm/s的黏土层防渗性能。简单防渗区做一般地面硬化。项目对盛水设备进行离地、可视化架设,新建管线敷设尽量采用“可视化”原则,即管道尽可能地上敷设,做到污染物“早发现、早处理”,以减少由于盛水设备破损、埋地管道泄漏而可能造成的地下水污染。

    拟建项目设置一处危废暂存间。危废暂存间按照国家《危险废物贮存污染控制标准》GB 18597-2001的要求进行防雨、防腐、防渗,混凝土基础做防渗处理,防渗层采用2mm厚的防渗材料,保证渗透系数≤10-10cm/s,并采用环氧树脂做防腐防渗处理,可有效地防止危险废物在贮存时可能产生的废液渗漏对地下水的污染。厂区东北角设置一个地下水跟踪监测井,以便掌握拟建项目污水是否泄漏及泄漏程度。

    5、固体废物影响及污染防治措施

    1) 施工期

    拟建项目场地已基本平整,土石方量可在区域内就地平衡。建筑垃圾产生于厂房等建(构)筑物建设以及装修过程,运至园区统一的建筑垃圾消纳场地进行处理。项目施工期间施工人员产生的生活垃圾集中堆放后,由当地市政环卫部门统一处理,在正常情况下不会影响环境。

    2) 营运期

    拟建项目危险废物主要包括生产工艺过程产生的含砷污泥和吸附剂、废有机溶剂(包括废稀释剂、光刻胶、废显影液、废异丙醇等)、废酸(包括废硫酸和废磷酸)、表面处理工艺过程中的废槽液(包括废软化液、碱液、酸液、电镀液、中和液、退镀液等)和废阳极球、废碳芯,以及公辅设施过程中产生的废润滑油、废试剂瓶、废抹布(沾染化学试剂)、废电池、纯水制备工艺中的废活性炭、离子交换树脂和RO膜、表面处理废水处理系统产生的含铜锡污泥以及含氨废水处理系统产生的硫酸铵吸收液。

    在危险品库1内设置危废暂存间,危废暂存间防风防雨,混凝土基础已做防渗处理,防渗层采用2mm厚渗透系数≤10-10cm/s的防渗材料,且地面采用环氧树脂做防腐防渗处理。设计满足《危险废物贮存污染控制标准》GB 18597-2001。一般工业固废分类收集,可由生产厂家回收、物资回收部门回收综合利用或作为一般工业固废处置;危险废物全部交由有资质单位安全处置;生活垃圾交由市政环卫部门统一清运处置。

    6、环境风险

    拟建项目不构成重大危险源。

    拟建项目各类工艺设备均密闭,生产车间厂房处于负压状态,工艺所需气体、液体物料均通过架空管道输送,生产过程中主要环境风险为有毒有害气体泄露。通过企业制定有风险防范措施和应急预案,加强预防工作,从管理入手,把环境风险事故的发生和影响降到最低限度。

    在充分落实上述环境风险防范措施的前提下,本项目存在的环境风险是可防可控的。

    三、环境影响评价结论要点

    重庆万国半导体科技有限公司12英寸功率半导体芯片制造及封装测试生产基地项目符合国家产业政策以及区域规划跟踪环境影响评价结论,采用的污染控制措施可行、可靠,可确保外排污染物达标排放。项目在充分落实环境风险防范措施的前提下,环境风险可防可控。

    根据环境影响预测,环境空气各评价点的SO2、NO2、PM10、氨、氟化物、硫酸雾、磷酸雾、氯气、VOCs(以非甲烷总烃计)均未出现超标现象。

    生产废水和生活污水经厂内处理达标后,经水土污水处理厂进一步处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》GB 18918-2002一级A标准后排入嘉陵江,对嘉陵江水质的影响可满足《地表水环境质量标准》GB3838-2002 Ⅲ类水域标准的要求。

    拟建项目不会对区域声环境敏感目标产生噪声影响。

    项目固体废物得到分类妥善处置,项目在采取环境影响评价提出的废气、废水污染防治及监控措施后,对地下水、土壤、人体健康的影响可控。

    四、公众索取信息的方式

    欢迎公众在相关信息公开后,到建设单位查阅报告书全文,或以电子邮件、信函方式向建设单位咨询。

    五、建设项目的建设单位名称和联系方式

    建设单位:重庆万国半导体科技有限公司

    联系地址:重庆市北碚区水土高新技术产业园云汉大道117号204室

    联 系 人:谭工 15213395183 邮箱:ke.tan@cqaos.com

    六、征求公众意见的范围和主要事项

    1) 征求范围:关心该项目建设的所有社会人士。

    2) 主要事项:

    公众对该项目在环境保护方面有何建议和要求。

    公众对该项目在拟选厂址建设的意见。

    七、征求公众意见的具体形式以及时间

    本次征求公众意见采用网络公示和纸质版全文查询两种方式。

    公示时间:2017年10月9日~2017年10月20日,10个工作日

    网络公示:本网站。

    公示期间内,社会公众可以通过以上联系方式,向我公司工作人员以口头建议、发送信函、传真、电子邮件等方式,发表对项目及环评工作的意见或看法。

    重庆万国半导体科技有限公司

    2017年10月9日

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